安裝條件

本設(shè)筐要求在海拔1000m以下，溫度25。。=15。（2,濕度55%Rh=10%Rh下使用。

1、 水：不需要

2、 電：AC220\'50Hz,必須有良好接地

3、 氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帝有寶塔接頭，可自夔改制成為雙卡衰接頭）

4、 工作臺(tái)：尺寸1600mm*600mmx?00mm,承重300晩以上

5、 通風(fēng)裝豈：需要

主要特點(diǎn)

1、 石英管外徑為6"、8"、8.5"、11°

2、 采用PID控制器，可以設(shè)置51段控溫程序。

3、 控溫精度高，保溫效果好，溫度范圍大，爐膛溫度均勻性高，可通氣氛抽真空。

4、 安全可靠，操作簡(jiǎn)單。

技術(shù)參數(shù)

1、 電源：AC 380V 50/60Hz 5KW

2、 石英管：0152mm x 1000mm, 0203mm x 1000mm, 0216mm x 1000mm, 0280mm x 1000mm

3、 加熱元件：摻鋁鐵銘鋁

4、 加熱區(qū)域：900mm

5、 溫區(qū)：3個(gè)，各300mm長(zhǎng)

6、 高溫度;1100。。

7、 工作睥：1000。。

8、 大升溫速率：20°C.min

9、 推薦升溫速率：10°C.min

10、 控溫精度：±i°c

11、 控溫段數(shù)：51段

產(chǎn)品規(guī)格

W寸：1300tnmx650mmxl050tnm；重量：150kg

標(biāo)準(zhǔn)反件

1

石英管

1根

2

管堵

4個(gè)

3

郷鉗

1把

4

熱電偶

1根

5

真空法三

1套

6

高溫手套

1雙

可迭國(guó)件

1、 石英管

2、 氧化鋁以垠

3、 石英垣垠

4、 真空泵